CMP拋光液的拋光磨料有哪些？

拋光液中常用的拋光磨料種類可分為天然磨料和人造磨料，吉致拋光液磨料也是在這類磨料基礎上調配出專利配方用于精密工件拋磨，提升光潔度。

1.天然磨料:自然界中所有可用于研磨或磨削的材料統(tǒng)稱為天然磨料。常用的天然磨料如下:金剛石、天然剛玉、石榴石和石英。

2.人造磨料:人造磨料分為剛玉系列、碳化物系列、硬質系列。

剛玉系人造磨料：棕剛玉、白剛玉、鋯剛玉、微晶剛玉、單晶剛玉、鉻剛玉、鐠釹剛玉、黑剛玉和礬土燒結剛玉。

碳化硅系人造磨料：碳化硅、鈰碳化硅、碳化硼、碳硅硼。

硬質人造磨料系列：金剛石（人造鉆石）和立方氮化硼。

隨著科學技術的發(fā)展，人造磨料品種已達幾十種，天然磨料由于自身的缺陷，已被越來越多的人造磨料所取代。

用于CMP拋光液的磨料有：金剛石微粉、氧化鈰微粉、氧化鋁微粉等。在這些微粉基礎上通過工藝制備出的納米級的微粒，可制成鉆石拋光液、二氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液、氧化硅拋光液等。

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