第三代半導體材料--碳化硅晶圓SiC拋光液
隨著硅半導體材料主導的摩爾定律逐漸走向其物理極限,以化合物半導體材料,特別是第三代半導體為代表的半導體新材料快速崛起。半導體拋光液是半導體材料制程中不可或缺是耗材。其中碳化硅是新型電力系統(tǒng),特高壓電網必需的可達萬伏千安等級的唯一功率半導體材料。
碳化硅Sic同時也是高鐵和新能源汽車牽引、電控系統(tǒng)的“心臟”。從國際技術發(fā)展水平來看,SiC 晶圓方面8英寸襯底開始產業(yè)化,車規(guī)級功率器件是當前開發(fā)重點,多家廠商已推出大功率模組及高溫封裝產品,碳化硅器件正向耐受更高電壓、更高電流密度、更低導通壓降、更高開關頻率方向發(fā)展。
碳化硅襯底的制程中需要用到CMP工藝,吉致電子碳化硅拋光液CMP化學機械拋光液可用于各種SiC襯底的平坦化,我司研發(fā)生產的SiC Slurry適用于不同尺寸下4H及6H構型碳化硅晶圓的粗拋與精拋,具有高去除率、高平坦化速率、可濃縮和低腐蝕性或無腐蝕性的特性。吉致電子不斷優(yōu)化半導體拋光液配方,切實提升CMP Slurry現(xiàn)代化水平,做到國產替代進口fujimi拋光液,ACESOL拋光液,Allied拋光液,Cabot拋光液等,積極響應國家“雙碳”戰(zhàn)略實施。
本文由無錫吉致電子科技原創(chuàng),版權歸無錫吉致電子科技,未經允許,不得轉載,轉載需附出處及原文鏈接。http://shatx.com/
無錫吉致電子科技有限公司
聯(lián)系電話:17706168670
郵編:214000
地址:江蘇省無錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路19-2
下一篇:吉致電子---常見的半導體研磨液有哪些上一篇:吉致電子手機取卡針拋光液
相關資訊
最新產品
同類文章排行
- 吉致電子碳化硅SiC拋光液的作用
- 半導體襯底拋光工藝---磷化銦InP拋光液
- 吉致電子--單晶金剛石研磨液的用途
- 生物芯片拋光---吉致碳酸鈣拋光液
- 吉致電子--磨具拋光液 配油盤加工拋光
- 吉致電子 Diamond slurry多晶金剛石研磨液
- 吉致電子---常見的半導體研磨液有哪些
- 第三代半導體材料--碳化硅晶圓SiC拋光液
- 吉致電子手機取卡針拋光液
- CMP拋光液---納米氧化鈰拋光液的優(yōu)點