半導(dǎo)體拋光液是什么？簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)拋光液是通過(guò)化學(xué)機(jī)械反應(yīng)，去除半導(dǎo)體工件表面的氧化層，達(dá)到光潔度和高平坦要求的化學(xué)液體。

  半導(dǎo)體CMP拋光液是超細(xì)固體研磨材料和化學(xué)添加劑的混合物，制備成均勻分散的懸浮液，起到研磨、潤(rùn)滑和腐蝕溶解等作用，主要原料包括研磨顆粒、PH調(diào)節(jié)劑、氧化劑和分散劑等。

拋光液的分類：

根據(jù)酸堿性可以分為：酸性拋光液和堿性拋光液、中性拋光液。

根據(jù)拋磨材質(zhì)可以分為：金屬拋光液和非金屬拋光液。

根據(jù)拋光對(duì)象不同，拋光液可分為銅拋光液、鎢拋光液、硅拋光液和鈷拋光液等。

其中，銅拋光液和鎢拋光液主要用于邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片制造過(guò)程。在 10nm 及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)中，鈷將部分代替銅作為導(dǎo)線，硅拋光液主要用于硅晶圓初步加工過(guò)程中。

  受益于晶圓廠擴(kuò)建潮、技術(shù)迭代以及國(guó)產(chǎn)替代全面提速驅(qū)動(dòng)，CMP拋光液市場(chǎng)國(guó)內(nèi)增速遠(yuǎn)超國(guó)際。吉致電子科技致力于研發(fā)生產(chǎn)更高性價(jià)比的半導(dǎo)體拋光液產(chǎn)品，擁有多位15年以上經(jīng)驗(yàn)研發(fā)工程師，多項(xiàng)國(guó)家專利技術(shù)。努力實(shí)現(xiàn)專用化、定制化的優(yōu)質(zhì)CMP拋光液產(chǎn)品。

本文由無(wú)錫吉致電子科技原創(chuàng)，版權(quán)歸無(wú)錫吉致電子科技，未經(jīng)允許，不得轉(zhuǎn)載，轉(zhuǎn)載需附出處及原文鏈接。http://shatx.com/

無(wú)錫吉致電子科技有限公司

聯(lián)系電話：17706168670

郵編：214000

地址：江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路19-2