化學(xué)機械拋光中拋光墊于工件形成了大面積接觸，提高了一致性，但在拋光過程中，拋光墊會不斷被磨損消耗，有各種因素影響著拋光墊的性能和使用壽命，其中為直接的就是溫度。

在化學(xué)機械拋光工藝里，拋光墊一般遇到兩種情況下溫度會升高，一種是固體和固體的物理摩擦接觸，由摩擦力產(chǎn)生的溫升，有可能導(dǎo)致拋光墊局部溫度升高到30℃，當拋光在水力解除模式下進行時，放熱有所緩解。另一種就是拋光液于拋光墊之間的化學(xué)反應(yīng)放出的熱量引起的溫度升高。當拋光墊的溫度過一定限度時，拋光墊聚亞安酯材料的機械性質(zhì)、物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)將會暫時或一直的改變。

溫度也是化學(xué)機械拋光工藝中影響拋光質(zhì)量的重要因素之一，溫度隨著拋光的磨削過程會發(fā)生變化，溫升對化學(xué)機械拋光的影響有兩個方面，溫升加快拋光液化學(xué)活性，加速拋光液中納米粒子的運動從而加速了材料的去除率。另一方面，溫升使得拋光墊表面變軟，從而降低了材料的去除率。因此對化學(xué)機械拋光中溫度場的研究有助于揭示拋光機理、獲得平穩(wěn)的拋光速率和改善被拋光件的表面質(zhì)量。

溫度一方面其可以加速化學(xué)反應(yīng)的過程，另一方面，溫度的升高，會改變拋光墊和拋光液的性質(zhì)，拋光墊升溫會變軟，溫度的升高，會使拋光粒子表面的活性劑失效，從而加速粒子之問的團聚，導(dǎo)致破壞化學(xué)機械拋光的結(jié)果。我們研究計算發(fā)現(xiàn)，在精拋的過程中溫度變化很小，大溫升才基本對拋光過程影響不大。關(guān)于粗拋過程的溫升，由于粗拋過程中接觸機理更加復(fù)雜，有待于進一步解決。

━━━━━━━━━━━━━━━◆分割線◆━━━━━━━━━━━━━━━

拋光墊種類：阻尼布拋光墊，聚氨酯拋光墊，白磨皮拋光墊

『拋光墊直通車』：http://www.fuji1995.com/pgd.html

拋光液種類：氧化硅拋光液，氧化鋁拋光液，鉆石拋光液

『拋光液直通車』：http://www.fuji1995.com/pgy.html

『官方微信』：

可以直接搜索：fjdzkj

或者直接掃描官方二維碼

『吉致電子』始于1995年，專注鉆研化學(xué)機械拋光19年，化學(xué)機械拋光行業(yè)領(lǐng)軍者，品質(zhì)贏得世界500強青睞。