吉致電子--單晶硅與多晶硅的區(qū)別
吉致電子粒徑小于100nm的球形氧化鈰拋光液可用于單晶硅片表面CMP及多晶硅CMP。下面簡(jiǎn)單談?wù)剢尉Ч韬投嗑Ч璧膮^(qū)別:
單晶硅和多晶硅是兩種不同的硅材料,它們的主要區(qū)別在于晶體結(jié)構(gòu)、物理性質(zhì)和用途等方面。
①晶體排列組成不一樣:
單晶硅是由許多晶體周期性排列而成的,其晶體結(jié)構(gòu)具有高度的有序性和一致性,因此其晶體內(nèi)部的原子排列和晶體缺陷都比較少。
多晶硅是由許多小的晶體組成的,每個(gè)小晶體的晶體結(jié)構(gòu)都有一定的差異,因此其晶體內(nèi)部的原子排列和晶體缺陷都比較復(fù)雜。
②晶體結(jié)構(gòu)高度不同,物理性質(zhì)不同
由于單晶硅的晶體結(jié)構(gòu)高度有序,其物理性質(zhì)也相對(duì)比較均勻,具有較高的電子遷移率和載流子濃度,因此適合用于制造高性能的電子器件,如半導(dǎo)體器件等。
而多晶硅的物理性質(zhì)則相對(duì)不均勻,其電子遷移率和載流子濃度較低,因此適合用于制造低成本的電子器件,如液晶顯示器、LED等。
③應(yīng)用領(lǐng)域不同
單晶硅和多晶硅的用途也有所不同。
單晶硅主要用于制造高性能的電子器件和高精度的光學(xué)器件,如激光器、光學(xué)濾波器等。而多晶硅則主要用于制造低成本的電子器件和大規(guī)模的光伏器件,如太陽(yáng)能電池等。
總之,單晶硅和多晶硅是兩種不同的硅材料,它們?cè)诰w結(jié)構(gòu)、物理性質(zhì)和用途等方面都有所不同。根據(jù)不同的應(yīng)用需求,可以選擇合適的材料進(jìn)行制造和應(yīng)用。
吉致電子為單晶硅、多晶硅提供不同CMP拋光解決方案,有效提升硅晶圓表面精密度,提高拋光效率及得到很低的表面粗糙度使產(chǎn)品表面光亮有達(dá)到鏡面效果。
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