吉致資訊第146期 如何讓研磨液在藍寶石的研磨中起到更好的作用
不同的研磨液對藍寶石研磨效果不應相同,而且研磨液對藍寶石晶體研磨效率的提升和表面質量的改善具有一定的良好反應。
藍寶石晶體因其優(yōu)越的物理、光學性能,在LED襯底材料和固態(tài)激光發(fā)光介質中運用非常廣泛,并且將運用到手機面板上。藍寶石的廣泛運用對它的光滑無損傷的表面研磨拋光技術提出了更高的要求,但藍寶石因其物理、化學性能比較穩(wěn)定,在加工上比較艱難。
在目前的工業(yè)上,對于藍寶石的加工需要采用切片、倒角、研磨、拋光等等工序才能加工完成,其中研磨加工的作用是重中之重,因為研磨是工件獲得良好平面度、保證拋光質量和效率的關鍵。單晶藍寶石的研磨一般利用逐減小研磨液中一種磨料的立徑,來控制研磨的進給量,來獲得較好的表面粗糙度。由于研磨過程中,硬度較大的磨料在工件和研磨盤之間滾軋,容易造成較大的表面損傷層,增加了拋光時間;另外研磨液中磨料利用率低、耗費大、還污染環(huán)境。在當前,固結磨料由于可依靠凸起的磨料實現(xiàn)材料的微量切除而成為了效率低損傷加工的有效手段。
在固結磨料加工中,研磨拋光液的化學作用也不容忽視。在利用固結磨料拋光硅襯底中,比較了不同拋光液對材料去除率和表面質量的影響,發(fā)現(xiàn)拋光液組分和pH值得改變對拋光效果具有較大影響,從而可以推斷拋光液與工件表面具有一定的化學作用。
拋光液中存在一種化學物質可以軟化水晶玻璃的表面表層,從而有利于材料的拋光速率的提高。但 由于藍寶石的高化學穩(wěn)定性,在詳細的報告中并沒有藍寶石晶片研磨過程中研磨液起到的化學作用。
不同研磨液對單晶藍寶石的研磨拋光效果是不一樣的,其中起到的微妙化學作用在無形中影響著藍寶石晶片的拋光效率和表面損傷度。
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『拋光皮』
拋光皮種類:阻尼布拋光皮,聚氨酯拋光皮,白磨皮拋光皮
拋光液種類:氧化硅拋光液,氧化鋁拋光液,金剛石拋光液
『吉致電子』拋光材料 源頭廠家 25年專注CMP拋光材料研發(fā)與生產
高速拋磨精密表面 高效·環(huán)保·安全
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