- [常見(jiàn)問(wèn)題]什么是混合磨料拋光液?[
2022-09-08 16:12
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混合磨料拋光液 拋磨工件材質(zhì)的升級(jí)和發(fā)展,對(duì)鏡面要求越來(lái)越高,單一的磨料已無(wú)法滿足CMP行業(yè)需求,研究人員開(kāi)始嘗試將不同粒徑、不同形貌的一種或多種粒子組合到一起使用,開(kāi)發(fā)出混合型拋光液。比如,在大粒徑二氧化硅中加入小粒徑的氧化硅,這樣能明顯提高拋光速率,且粒徑相差越大提升率越高,這是因?yàn)樵谀チ显诳偟馁|(zhì)量分?jǐn)?shù)不變的條件下,增大小粒徑磨料的占比能增加硅溶膠顆粒的總體數(shù)量,從而起到了提高拋光速率的作用。 大量的研究成果表明,混合粒子的使用能夠不同程度的提高化學(xué)機(jī)械拋光的速率,但是對(duì)拋光后表面粗糙度
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http://shatx.com/Article/smshhmlpgy_1.html
- [常見(jiàn)問(wèn)題]磨料在CMP拋光液中的作用[
2022-08-26 14:45
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拋光磨料是CMP拋光液中的主要成分,在拋光過(guò)程中通過(guò)微切削、微擦劃、滾壓等方式作用于工件表面,達(dá)到機(jī)械去除材料的作用。 拋光液根據(jù)磨料成分一般分為單一磨料拋光液,混合磨料拋光液,復(fù)合磨料拋光液 磨料在CMP拋光過(guò)程中起到的作用為:(1)機(jī)械作用的實(shí)施者,起機(jī)械磨削作用;(2)傳輸物料的功能,不僅將新鮮漿料傳輸至拋光墊與被拋材料之間,還將反應(yīng)物帶離材料表面,使得材料新生表面露出,進(jìn)一步反應(yīng)去除。所以選擇拋光液時(shí)記得考慮分散性好,流動(dòng)性好,硬度適中,易于清洗的拋光液產(chǎn)品,有相關(guān)問(wèn)題
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http://shatx.com/Article/mlzcmppgyz_1.html
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