- [吉致動態(tài)]吉致電子---常見的半導體研磨液有哪些[
2023-07-31 17:23
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吉致電子半導體研磨液有哪些?常見的CMP研磨液有氧化鋁研磨液,金剛石研磨液,藍寶石研磨液。分別用于磨削工件、半導體制程、光學玻璃晶圓等工件加工。 其中金剛石研磨液,它的硬度非常高,性能穩(wěn)定切削力強,被廣泛應用于led工業(yè)、半導體產(chǎn)業(yè)、光學玻璃和寶石加工業(yè)、機械加工業(yè)等不同行業(yè)中。研磨液是半導體加工生產(chǎn)過程中的一項非常重要工藝,它主要是通過CMP研磨液混配磨料的方式對半導體表面進行精密加工,達到平坦度。研磨液是影響半導體表面工作質(zhì)量的重要經(jīng)濟因素。吉致電子用經(jīng)驗和技術(shù)服務每一位客戶,有CMP
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http://shatx.com/Article/jzdzcjdbdt_1.html
- [吉致動態(tài)]納米拋光液---納米氧化鋁拋光液[
2022-08-31 17:24
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氧化鋁粉體具有多個晶體形態(tài),常見的有Y,θ,α,δ等相。其中α相的氧化鋁為其他相的氧化鋁高溫轉(zhuǎn)變而成。作為拋光液用的α氧化鋁顆粒,根據(jù)拋光(粗拋/精拋)的要求不同,a -Al2O3平均顆粒大小可以從100nm到500/1000nm而不同,但不管是何種拋光,氧化鋁的硬團聚體,或超大顆粒越少越好,這些超大顆粒會在拋光過程中給晶體表面造成劃傷,導致整個拋光過程失敗。所以,在制備以a-Al2O3為主體的拋光液過程中,如何控制超大顆粒是一關(guān)鍵。吉致電子氧化鋁研磨液/氧化鋁精拋液,顆粒經(jīng)表面改性處理,按特殊化學配方充分混合制備
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