- [行業(yè)資訊]碳化硅襯底CMP拋磨工藝流程[ 2022-10-26 14:32 ]
- 碳化硅襯底CMP化學機械拋光工藝需要用到吉致電子CMP拋光液和拋光墊，拋磨工藝一般分為3道流程：雙面拋磨、粗拋、精拋。下面來看看吉致電子小編碳化硅晶圓拋光工藝介紹和拋光產(chǎn)品推薦吧。碳化硅襯底雙面研磨：一般使用雙面鑄鐵盤配合吉致電子金剛石研磨液或者碳化硅晶圓研磨液進行加工；主要目的是去除線切損傷層以及改善晶片的平坦度。碳化硅襯底粗拋工藝：針對碳化硅襯底加工采用專門的碳化硅晶圓拋光液配合粗拋墊。既可以達到傳統(tǒng)工藝中較高的的拋光速率（與精磨基本相當）又可以達到傳統(tǒng)工藝中粗拋后的表面光潔度。碳化硅襯底精拋工藝：SIC晶圓精
-
http://shatx.com/Article/thgcdcmppm_1.html
相關(guān)搜索
- 無相關(guān)搜索
吉致熱門資訊
-
南京某手機外殼加工廠 -
上海某精磨玻璃拋光公司
-
廣東硅晶片拋光廠
-
吉致應(yīng)用案例：藍寶石
-
吉致應(yīng)用案例：陶瓷
-
吉致應(yīng)用案例：鎢鋼
-
吉致資訊第56期：高性價比Leme藍牙耳機
-
吉致資訊第64期：畫家的福音“APPLE PENCIL”
-
CMP拋光液的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？
-
吉致資訊第118期：拋光墊性能對拋光液的影響
-
吉致資訊第119期 藍寶石化學機械拋光液作用研究
-
吉致資訊第120期 諾基亞10 MAX長這樣，這設(shè)計有點復(fù)古
-
吉致咨詢第121期 海綿砂紙在模型打磨的應(yīng)用
-
吉致咨詢第122期 拋光液作用和濃度對工件的影響
-
吉致資訊第123期 如何正確選擇合適的拋光液
-
吉致資訊第124期 陶瓷鏡面拋光工藝
-
吉致資訊第125期 如何在研磨工藝中減免劃痕
-
吉致資訊第126期 NASA正在研究混合動力客機：噪音更低、更省油
-
吉致咨資訊第127期 真人翻譯評訊飛曉譯翻譯機：晚來10年的“翻譯神器”
-
吉致資訊第128期 iPhone SE二代存在的意義 小尺寸大屏幕成終目
