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無(wú)蠟吸附墊Template 硅片拋光模版
產(chǎn)品名稱:無(wú)蠟吸附墊/硅片吸附墊/芯片吸附墊/拋光吸盤Template/拋光模板/背附板
產(chǎn)品特點(diǎn):用于半導(dǎo)體硅晶圓、碳化硅襯底、藍(lán)寶石襯底、光學(xué)玻璃、精密陶瓷、硅片外延片、金屬等產(chǎn)品的單面拋光,屬于CMP拋光工藝的裝置及耗材。
無(wú)蠟吸附墊·參數(shù)吉致電子,CMP拋光材料 可定制·速率高·效果好·專利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA
產(chǎn)品分類:吉致電子·無(wú)蠟吸附墊Template
產(chǎn)品名稱:無(wú)蠟吸附墊/硅片吸附墊/芯片吸附墊/拋光吸盤Template/拋光模板/背附板
產(chǎn)品厚度:可定制
產(chǎn)品直徑:可定制
產(chǎn)品背膠:國(guó)產(chǎn)/進(jìn)口可選
吉致電子無(wú)蠟吸附墊主要用于半導(dǎo)體硅晶圓、碳化硅襯底、藍(lán)寶石襯底、光學(xué)玻璃、精密陶瓷、硅片外延片、金屬等產(chǎn)品的單面拋光,屬于CMP拋光工藝的裝置及耗材。
產(chǎn)品工藝及用途:吉致電子無(wú)蠟吸附墊可有效防止CMP加工過(guò)程中晶圓、襯底穿插和剝離現(xiàn)象的發(fā)生,提高拋光墊的使用壽命。同時(shí)避免工件碎片、崩角、刮傷現(xiàn)象的產(chǎn)生,提高硅片晶圓的良品率。
產(chǎn)品具有多種尺寸和結(jié)構(gòu) 可供客戶選擇及按要求定制。
無(wú)蠟吸附墊·特點(diǎn)
吉致電無(wú)蠟吸附墊的特點(diǎn):
有獨(dú)特的孔隙結(jié)構(gòu),吸附性能表現(xiàn)為真空狀態(tài)吸附住被拋光工件。
材料有良好的壓縮率和回彈性,適用于中高壓研磨制程。
特殊微孔結(jié)構(gòu)吸附工件提供了理想的平坦化特性,且不易沾粘拋光漿料、耐腐蝕、易清潔、下片容易。
適用于單面拋光工藝中各種尺寸及形狀的工件加工。
吉致電子無(wú)蠟吸附墊適用范圍(包含且不限于):
2-8寸硅片、碳化硅SiC襯底、藍(lán)寶石襯底、光學(xué)玻璃組件、精密陶瓷件、液晶玻璃基板、金屬等
吉致電無(wú)蠟吸附墊與市場(chǎng)競(jìng)品優(yōu)劣對(duì)比:
吉致電子無(wú)蠟吸附墊半導(dǎo)體與光學(xué)玻璃產(chǎn)業(yè)中取代蠟塊粘結(jié)的科技產(chǎn)品,簡(jiǎn)單高效可直接吸附使用。吉致電子吸附墊Template生產(chǎn)廠家工藝成熟,做工精良,用料扎實(shí)。產(chǎn)品平整度高,回彈性好,吸附力強(qiáng),適使用壽命長(zhǎng)。搭配納米拋光液使用可提高硅片、晶圓的加工速率和良品率。
吉致電無(wú)蠟吸附墊使用方法:
Template替代用蠟將工件粘附在置具上的模式。內(nèi)層採(cǎi)用了拋光微孔材料(分光面和絨面)
潤(rùn)濕后特殊微孔吸附住工件,使工件在加工過(guò)程中固定不脫落,完工后易于取片,且不會(huì)有殘蠟及殘膠問(wèn)題。
想了解更多無(wú)蠟吸附墊及CMP拋光工藝參數(shù)與方案,歡迎來(lái)電咨詢
無(wú)蠟吸附墊及CMP Pad輔料參數(shù):
拋光墊背膠:
吉致電子每種拋光墊都可以根據(jù)客戶要求提供背膠需求(3M/國(guó)產(chǎn)),使用時(shí)粘結(jié)牢固,且使用后易于從盤面剝離。
背膠用途:
液晶玻璃基板的研磨布,研磨墊的固定。
晶圓,硬盤基板等研磨布的固定。
CMP墊的固定。
Rubbing Cloth固定等。
高彈緩沖墊及吸附墊:
可以根據(jù)客戶需求提供緩沖墊和吸附墊。緩沖墊是靈活應(yīng)用高分子工業(yè)技術(shù)所研發(fā)出的高發(fā)泡硅膠泡棉。由于它具有普通泡棉所不具有的耐熱性、耐寒性、低燃燒性等特點(diǎn),可適用于貼合拋光阻尼布加工制成不同厚度的拋光墊,從而使拋光效果更佳更容易保護(hù)拋光工件。
吉致電子無(wú)蠟吸附墊價(jià)格實(shí)惠:
吉致電子無(wú)蠟吸附墊Template/cmp拋光墊生產(chǎn)引進(jìn)國(guó)外技術(shù),可以媲美進(jìn)口拋光墊PAD/阻尼布拋光墊產(chǎn)品(Politex/Fujiba/SUBA/環(huán)球等國(guó)產(chǎn)替代)品質(zhì)穩(wěn)定。
選擇吉致電子拋光墊產(chǎn)品,價(jià)格美麗,比進(jìn)口拋光墊/精拋墊便宜,交貨期穩(wěn)定,性價(jià)比更高!
吉致電子研發(fā)團(tuán)隊(duì)--15年經(jīng)驗(yàn)CMP拋光液配方工程師,為您攻克拋光難題!
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